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臭氧發(fā)生器原料氣體絕 對不得含烴類、腐蝕性氣體和任何其他能在氧/臭氧/電暈環(huán)境內發(fā)生反應，從而對設備安全造成危害或損壞的物質。
眾所周知，爆炸的三要素是燃料、氧化劑和火種，而臭氧發(fā)生器的電暈環(huán)境中已存在兩項，即氧化劑和火種。因此必須防止在原料氣體中含有烴類燃料物質；如果有可能存在烴類物質，必須安裝烴類分析儀，以便當烴類濃度接近爆炸下限（LEl）的25%時切斷電源。
碳氟化合物，如特氟隆或冷卻劑都可在電暈中分解形成氟，后者能侵蝕玻璃介電材料，可加速介電體損壞。圍繞在電暈室外面的循環(huán)冷卻流體有可能通過密封泄漏并進入電暈空間，結果在介電體表面形成一層漆類，涂層。當發(fā)生這種情況時，由于這種涂層降低臭氧生產的效率，介電體必須定期予以清洗。

另外，原料氣還應濾除5μm左右的顆粒，以防止小的干燥劑粉末或其他微粒進入發(fā)生器電暈區(qū)。以免影響電暈效率。